5寸Fab工艺线_MES
12寸CIS产线_MES
12寸前道生产线_RMS
12寸STT-MRAM研发线_MES+EAP
12寸硅基Micro OLED生产线_CIM系统
8寸前道生产线_MES+EAP+FDC
8寸前道生产线_MES+EAP+RMS
外延生产线_MES
8寸wafer生产线_MES+SPC+EAP
6寸前道生产线_MES
前道生产线_CIM系统(含SECS接口改造)
6寸Fab分立器件前道生产线_MES+SPC
碳化硅SiC衬底及外延生产线_MES
8寸fab生产线_APC+EAP+RMS
6寸前道IGBT量产线_MES
8寸前道生产线_新的IFab系统