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上扬软件Terra FDC 2.0重磅升级发布

2022-10-11 09:00| 发布者: 上扬软件| 查看: 5086

       近日,上扬软件升级发布设备故障侦测和分类Terra FDC 2.0,升级后的2.0版本能够更有效地提高机台设备的利用率,从而降低生产成本、提高工厂效率。


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       半导体加工设备投资成本巨大,晶圆厂建厂超过75%的成本用于设备采购,因此,设备效率最大化是半导体厂降成提效的主要方式之一。因此,以故障监测、分类和预测为主要功能的FDC正是提高设备利用率的利器


       FDC高频次采集机台生产工艺中的关键数据,利用算法和经验模型,包括统计学算法、工艺模型的算法和人工智能算法,预配置参数的限制值,持续监控设备参数,以对设备健康状态提供主动而快速的反馈,如侦测到设备故障,则采取相关警报和控制功能。


       FDC通过对机台运行(生产,待机)实时监控,包括整体机和子腔体,从而实现以下功能:一是避免设备故障造成的产品不良,提升产品良率;二是减少设备意外停机时间,提高产品周转率。三是减少测试晶片运用,达到降低成本的目的。


       作为半导体智能制造软件CIM的重要子系统之一,FDC也是长期被国外厂商垄断。国产FDC市场势孤力薄,产品小众化,在主流的8英寸和12英寸晶圆厂上没有进行过验证,主要是集中在中小的半导体厂,市场占有率很低,很难形成规模。另外,从技术来说,验证算法和算法都相对比较单一,只能做到设备的单边量的分析,多变量的分析还是比较薄弱;三是由于技术上的差距,服务也是与国际一流的FDC有一定的差别,所以在服务上,对于客户上的帮助还是很有限,很难从工艺或设备的角度,以及从系统和算法的角度上来说,帮助客户提升工艺水平。


       上扬软件升级后的Terra FDC采用「分层诊断」,透过一层层的故障侦测法则,如同天罗地网般侦测机台设备可能发生的故障诊断与分类。其核心优势有三点:一是对设备数据进行高频次采集,至少支持100毫秒的频率,约为10HZ;二是基于深度学习进行边缘AI计算,提高高频数据采样的效率,甚至达到100HZ。三是多变量分析:利用大数据技术,支持多元数据分析。


       此次,上扬软件发布的Terra FDC 2.0将推动国产FDC的发展,助力构建国产市场的新格局。


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