上扬软件CEO呂博士在集成电路制造年会发表精彩演讲

2020年9月18日，第23届中国集成电路制造年会暨广东集成电路产业发展论坛在广州盛大召开，主办方邀请了众多行业大咖分享了最新的行业动态、前沿的技术趋势以及专业的市场分析等精彩内容。上扬软件（上海）有限公司（FA Software，以下简称“上扬软件”）作为MES领域的领军企业，董事长兼CEO吕凌志博士带来《创业路漫漫，打造国际一流的半导体智造软件CIM/MES》的主题演讲，娓娓讲述了其20年艰辛的创业之路以及CIM/MES系统如何助力半导体企业实现“智造”。

近年来，随着智能制造不断发展，MES系统在半导体行业的地位日益重要，尤其在半导体领域很多无人工厂或洁净车间对MES系统需求庞大，近年来MES系统概念已越来越深入国内半导体生产管理领域。

MES系统主要负责生产管理和调度执行，控制包括物料、设备、人员、流程和环境在内的所有资源，其通过对工厂的信息共享与流程自动化的实施，最大限度地提高生产效率与良率，从而达到降低生产成本，改善生产管理的目的。在吕博士看来，光刻机之于晶圆制造非常重要，但MES系统的重要性并不亚于光刻机，因为MES系统一旦宕机，整个工厂将全部停运，1小时将损失上千万元。因此，上扬软件的工程师必须24小时响应，只要系统出现异常随时解决问题。

上扬软件的myCIM MES系统主要面向半导体、光伏、LED三大领域，在半导体领域可应用于前道、封装测试等环节，其中12英寸产线前道是最难，上扬软件奋斗20年终于走到了可实现12英寸产线量产的机会。吕博士指出，在如今国际贸易环境复杂多变的环境下，国产自有知识产权的MES系统迎来了更好的发展机遇。

上扬软件的myCIM MES系统方案在架构上分为排产管控层、车间执行层、设备控制层和设备层。该系统方案需要跟半导体设备对接，管控整个晶圆厂的物料搬运，对设备下发命令、采集参数，并给每个设备设置程序等。MES系统是整个方案的核心，其将整个晶圆制造1000多个流程建在系统中，每一步流程都依靠MES系统执行。

整个系统通过3条主线发挥作用，第一，把流程管控到位，每一片晶圆的每一个流程都需要正确；第二，把设备控制到位，每个设备在哪个时间做什么事必须严格控制到位；第三，与搬运系统对接，保证设备不闲置。在生产线上，MES系统的每一个执行都必须严格到位。

目前，myCIM 4.0 MES是上扬软件的核心产品，myCIM 4.0 MES是针对12英寸产线的系统，包括6大模块：制造流程、操作管控、时间规划、搬运对接、过程控制、自动化对接等方面。吕博士表示，有了这样一套系统后，工厂基本上可实现无人运作。

上扬软件发展至今，已取得了阶段性成果，而回顾20年创业的漫漫长路，吕博士表示要将客户、订单以及信誉放在第一位，在秉承勤劳善良的同时还有时刻关注风险、重视创新，并抱着“迷信”明天会更好的信念，坚持一直走下去。关于未来展望，他提到上扬软件的中长期发展定位是为高科技制造业提供国际一流的MES、EAP集成电路解决方案和本地化支持服务。

上扬软件是一家专门为半导体光伏、LED等高科技制造业提供MES（Manufacturning Execution System，制造执行系统）、CIM等软件产品的供应商，拥有自主4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸半导体MES方案知识产权，现有员工200余人，总部位于上海，在成都、合肥、北京、西安、武汉、马来西亚、新加坡等地有分支机构。