外延生产线_MES
8寸wafer生产线_MES+SPC+EAP
碳化硅SiC衬底及外延生产线_MES
6寸SiC和外延量产线MES
8寸量产线Raw Wafer_MES
8寸量产线EPI Wafer_MES
6寸量产线_MES碳化硅
8寸量产线_MES外延
化合物半导体外延片_MES
6/8寸Raw Wafer材料生产线_MES+EAP